제12기 서울테크노파크 MEMS 공정 교육 참가학생 모집
서울테크노파크의 FAB(Clean Room(청정실))은 서울에서 학생들에게 오픈되어 있는 곳이 유일하며, 실제로 장비를 다뤄볼 수 있는 곳은 이곳 밖에 없습니다. MEMS에 관심이 있는 학생들에게 좋은 기회인 본 교육에 많은 참여 바랍니다.
■ 교육목표
ㅇ IoT 융합 신기술 인재 양성을 위하여 IoT 핵심요소 중 하나인 MEMS 공정 기술인력 양성 필요
ㅇ 이론(2일) + 실습(2일) 과정으로 교육 과정을 수립하고, 실습 위주의 교육을 실행함으로써 FAB 환경에서의 업무 경험 증대
ㅇ MEMS 공정(반도체)및 재료의 이해와 장비 교육을 통하여 실무 지식 및 활용능력 향상
ㅇ 산학 공용 장비에 대한 홍보 및 교육을 통한 장비 활용도 제고
■ 교육내용
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과 정 명
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MEMS 공정 실습 (Inductor 제작 및 평가)
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교육정원
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18명 (숭실대학생 3명 선발)
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교육장소
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이론강의 : (재)서울테크노파크 602호
공정실습 : (재)서울테크노파크 FAB, 309호, 310호
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수강대상
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서울과학기술대학교 거점센터 참여대학 공학계열 재학생
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교육기간
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2019. 6. 25 ~ 2019. 6. 28. (4일간)
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교육내용
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○ 반도체 FAB 출입 및 환경 안전교육
○ MEMS 공정 개론
○ MEMS 공정 단계별 이론교육
○ 공정실습 사전 장비교육
○ Inductor 제작공정 실습
○ Inductor 측정 실습
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■ 신청방법 및 모집기한
ㅇ 신청대상 : 본교 공과/IT대학 재학생
ㅇ 신청기간 : 6월 7일(금) 오후 5시까지 접수자에 한함
ㅇ 신청방법 : 참가신청서(첨부1), 개인정보동의서(첨부2)를 작성하여 이메일 제출(ascee@ssu.ac.kr)
■ 교육일정
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일 자
시 간
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25일(이론)
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26일(이론)
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27일(실습)
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28일(실습)
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09:00~10:00
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서울테크노파크 집결
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서울테크노파크 집결
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Photo Lithography
(via hole)
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Electroplating
(Inductor)
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교육 소개
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이론 4
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10:00~11:00
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이론 1
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ICP-Echting
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PR strip
Seed Etching
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11:00~12:00
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점심
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12:00~13:00
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점심
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점심
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공정실습
이론교육
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점심
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13:00~14:00
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AFM 실습
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이론 2
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Sputter
(Seed 증착)
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14:00~15:00
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휴식
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Nano 3d 실습
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15:00~16:00
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청정실
안전교육
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Photo
Lithography
(Inductor)
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휴식
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16:00~17:00
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이론 3
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동영상 시청 및 질의 응답
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3층 측정실습
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17:00~18:00
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안전교육 시험
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수료증 수여 및 설문조사
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*실습의 경우 그룹편성에 따라 교육 프로그램 스케쥴이 변경
■ 이론교육 강의
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일시
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강의명
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강사
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2019. 6. 25. (10:30~12:30)
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MEMS 공정개론 및 시장동향
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조영학 교수(서울과기대)
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2019. 6. 25. (13:30~15:30)
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Photo Lithography
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옥종걸 교수(서울과기대)
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2019. 6. 25. (16:00~18:00)
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Deposition
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안지환 교수(서울과기대)
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2019. 6. 26. (09:30~11:30)
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Etching Process
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이상훈 교수(서울과기대)
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■ 문의사항 : 공학교육혁신센터(02-828-7138, 형남 311)
공학교육혁신센터장