제15기 서울테크노파크 MEMS 공정 교육 참가학생 모집
서울테크노파크의 FAB(Clean Room(청정실))은 서울에서 학생들에게 오픈되어 있는 곳이 유일하며,
실제로 장비를 다뤄볼 수 있는 곳은 이곳 밖에 없습니다.
MEMS에 관심이 있는 학생들에게 좋은 기회인 본 교육에 많은 참여 바랍니다.
■ 교육목표
ㅇ IoT 융합 신기술 인재 양성을 위하여 IoT 핵심요소 중 하나인 MEMS 공정 기술인력 양성 필요
ㅇ 이론(2일: 온라인+오프라인) + 실습(2일) 과정으로 교육 과정을 수립하고, 실습 위주의 교육을 실행함으로써 FAB 환경에서의 업무 경험 증대
ㅇ MEMS 공정(반도체)및 재료의 이해와 장비 교육을 통하여 실무 지식 및 활용능력 향상
ㅇ 산학 공용 장비에 대한 홍보 및 교육을 통한 장비 활용도 제고
■ 교육내용
| 과 정 명 | MEMS 공정 실습 (Inductor 제작 및 평가) |
| 교육정원 | 20명 (숭실대학생 3명 선발) |
| 교육장소 | 이론강의 : (재)서울테크노파크 602호
공정실습 : (재)서울테크노파크 FAB, 309호, 310호 |
| 수강대상 | 서울과학기술대학교 거점센터 참여대학 공학계열 재학생 |
| 교육기간 | 2020. 7. 21 ~ 2020. 7. 24. (4일간) |
| 교육내용 | ○ 반도체 FAB 출입 및 환경 안전교육
○ MEMS 공정 개론 ○ MEMS 공정 단계별 이론교육 ○ 공정실습 사전 장비교육 ○ Inductor 제작공정 실습 ○ Inductor 측정 실습 |
■ 신청방법 및 모집기한
ㅇ 신청대상 : 본교 공과/IT대학 3, 4학년 재학생
ㅇ 신청기간 : 6월 14일(일) 자정까지(24:00) 접수자에 한함
ㅇ 신청방법 : 참가신청서(첨부1), 개인정보동의서(첨부2)를 작성하여 이메일 제출(ascee@ssu.ac.kr)
■ 교육일정
| 일 자
시 간 |
1일차(이론) | 2일차(이론) | 3일차(실습) | 4일차(실습) |
| 09:00~10:00 | 이론 4 | Photo Lithography
(via hole) |
Electroplating
(Inductor) |
|
| 10:00~11:00 | ||||
| 이론 1
(온라인) 10:30~12:30 |
ICP-Echting | PR strip
Seed Etching |
||
| 식사 후
서울테크노파크 집결 |
||||
| 11:00~12:00 | ||||
| 12:00~13:00 | 점심 | |||
| 휴식 | 점심 | |||
| 13:00~14:00 | 이론 2
(온라인) 13:00~15:00 |
공정실습
이론교육 (오프라인) |
AFM 실습 | |
| Sputter
(Seed 증착) |
||||
| 14:00~15:00 | ||||
| Nano 3d 실습 | ||||
| 15:00~16:00 | 휴식 | 휴식 | Photo
Lithography (Inductor) |
|
| 이론 3
(온라인) 15:30~17:30 |
청정실
안전교육 (오프라인) |
|||
| 16:00~17:00 | ||||
| 동영상 시청 및 질의 응답 | ||||
| 3층 측정실습 | ||||
| 17:00~18:00 | ||||
| 안전교육 시험
(오프라인) |
||||
| 수료증 수여 및 설문조사 | ||||
* 실습의 경우 그룹편성에 따라 교육 프로그램 스케쥴이 변경
■ 이론교육 강의
| 시간 | 강의명 |
| 이론강의 1 | MEMS 공정개론 및 시장동향 |
| 이론강의 2 | Photo Lithography |
| 이론강의 3 | Deposition |
| 이론강의 4 | Etching Process |
■ 기타 안내
ㅇ 非(비)서울 거주 학생은 게스트룸을 신청할 수 있음(단, 숭실대 추천 3인 중 1명만 가능함)
ㅇ 게스트룸 수량이 한정되어 있어 신청하더라도 이용이 불가능할 수 있음
ㅇ 게스트룸 이용 안내
– 일 정: 2020. 7. 21(화) ~ 24일(금), 3박
– 장 소: 서울과학기술대학교 42번 KB학사 2~3층
– 비 용: 75,000원 (25,000*3박), 식사 미포함 (식사는 개별)
* 非(비)서울 거주중인 학생만 게스트룸 이용 가능 (서울거주자 이용불가)
* 코로나19로 인해 정문만 이용 가능, 마을 13번 버스 교내 진입 불가
■ 문의사항 : 공학교육혁신센터(02-828-7138, 형남 311)
공학교육혁신센터장